The 14th International Semiconductor Exhibition
로봇기업들 반도체 분야 신제품 경연 “다가올 반도체 시장 호황 대비”

 

▲ 티이에스는 이번 전시회를 통해 듀얼 암 타입 5.5세대 이송로봇을 선보였다.

반도체 제조 공정 속 로봇을 살펴볼 수 있는 국제반도체대전이 올해, 14회의 막을 올렸다. 특히 올해에는 클린룸 인증을 획득한 로봇 관련 신제품을 비롯해 지난 해 국내 최초 8세대 이송로봇으로 본 전시회에서 호평을 이끌어냈던 티이에스가 새로운 아이템으로 등장하며 또 한 번 이목을 집중시켜 더욱 풍성한 볼거리를 선사했다. i-SEDEX 2012를 통해 반도체 시장 속 로봇 및 관련 제품들의 트렌드를 살펴보자.
취재▶▶정대상 기자(press2@engnews.co.kr)

 

‘제14회 국제반도체대전’ 성황리에 개최

지식경제부와 경기도가 주최하고 한국반도체산업협회와 한국반도체연구조합이 주관하는 ‘제14회 국제반도체대전(The 14th International Semiconductor Exhibition, i-SEDEX 2012)’이 지난 10월 9일(화)부터 11일(목)까지 3일간 경기도 일산 킨텍스에서 펼쳐졌다.

금년 i-SEDEX에는 지난해에 이어 또 한 번 신제품을 선보인 이슈메이커 티이에스와 동부로봇 등 로봇메이커를 비롯해 씨피시스템, 에스시스템즈 등 로봇 관련 제품 기업들까지 참가해 눈길을 끌었다.

아울러 금번 행사는 ‘제43회 한국전자전’과 ‘2012 국제정보디스플레이전시회’와 함께 펼쳐짐으로써 행사장을 찾은 관람객들에게 보다 풍성한 볼거리를 제공했다.

 

동부로봇은 SMIF 장비 외에도 기존 이송로봇을 함께 전시했다.

씨피시스템의 Sabin Chain은 저분진, 저소음으로 클린룸에 적합하다.

 

 

반도체 시장 타깃으로 한 로봇기업들의 신제품 경연

반도체 분야라는 특정 산업군을 타깃으로 한 전시회인 만큼 이번 전시회에 참가한 로봇기업들은 반도체 시장을 겨냥한 신제품들을 대부분 출품했다.
지난해 국내 최초로 8세대 이송로봇을 개발해 화제가 됐던 티이에스는 이번 전시회를 통해 Clean Class1의 듀얼 암 타입 5.5세대 이송로봇을 선보였다. 이미 기존 5.5세대 이송로봇 시장을 확보하고 있던 동사는 듀얼 암 타입 5.5세대 이송로봇을 통해 신규 고객사 확보 및 대체 시장 등 다방면으로의 활용성이 기대되고 있다.

한편 동부로봇은 ‘반도체장비재료성능평가사업단’이 구성한 성능평가 홍보관을 통해 반도체 분야와 관련된 기존 및 신제품들을 선보였다.
특히 동부로봇은 그간 제작하지 않았던 SMIF(반도체 제조 공정 중 국부적인 청정상태를 유지해주는 장치)를 자사의 로봇기술력을 바탕으로 개발해 선보였다. 장치 속 로봇은 카세트에 탑재된 웨이퍼의 수량에서부터 이탈 유무 확인까지 수행하는 장비로, 동부로봇의 관계자는 “SMIF 시스템은 기존에 제작하지 않았던 제품으로, 이번 전시회를 통해 처음 선보였다”고 밝혔다.

이 밖에도 케이블 보호 기구를 제작하는 씨피시스템 역시 얼마 전 개발한 클린룸 타입 케이블 보호 기구 신제품인 Sabin Chain을 선보이며 반도체 시장 공략에 나섰다. 동사는 독창적인 홀딩핀 결합구조와 효과적인 디바이더, 5㎜ 간격으로 케이블의 유동을 방지해주는 프레임 돌기 등 씨피시스템 고유의 제품 특장점을 살리면서도 클린 룸에 적용 가능한 타입의 제품을 공개했다.

한편 이번 전시회에서는 씨티엑스 코리아, 에스시스템즈, 하이윈 등 반도체 설비 업체를 겨냥한 액추에이터 기업들의 모습도 살펴볼 수 있었다.
에스시스템즈는 자사의 서보시스템을 활용한 3축 직교좌표로봇을 구성해 참관객들에게 제품을 홍보했고, 씨티엑스는 보쉬렉스로스의 라이선스를 보유하고 있는 중국 PRP의 액추에이터 및 공간활용도를 극대화한 가이드 일체형 액추에이터 GSX 시리즈를 선보였다.

 

하이윈(左)과 에스시스템즈(右)는 자사의 엑츄에이터를 활용한 모듈로 참관객들의 눈길을 사로잡았다.

 

 

웨이퍼 시장 확장 기조… ‘로봇기업들 준비태세’

최근 국제반도체장비재료협회가 발표한 연례 반도체 산업 실리콘 출하량 전망 보고서는 2012년도 폴리시드 및 에피택셜 실리콘 출하량이 89억 100만ln2, 2013년에는 94억ln2, 2014년에는 99억 6,500만ln2로 경제 불황에도 불구하고 견조한 증가세가 전망된다고 밝혔다.

금번 i-SEDEX에서는 이러한 반도체 업계의 잠재력을 어느 정도 확인할 수 있는 자리가 됐다. 아울러 일본 로봇기업의 강세가 여전히 두드러지는 가운데 국내 반도체 이송 로봇기업의 약진이 돋보이는 자리이기도 했다.

 

티이에스의 웨이퍼 이송로봇