지난 10월 17일(화) ‘2017 반도체대전(SEDEX 2017)’이 코엑스에서 개최됐다. 이에 따라 메모리반도체, 시스템반도체, 장비/부품, 재료, 설비, 센서 분야 등 반도체 산업 관련 기업들이 대거 참가함은 물론, 반도체 시장을 공략하기 위한 로봇 제조업체들의 참가도 두드러졌다. 

 

제19회를 맞이한 ‘2017 반도체대전(SEDEX 2017)은’ 반도체를 수요로 하는 다양한 분야와 첨단 제품 및 기술을 접할 수 있는 종합전시회로, 세계 반도체 시장과 기술에 대한 최신 정보와 기술트렌드를 확인할 수 있는 자리이다.
6개국 160개사 500부스 규모로 치러진 이번 전시회에는 반도체 산업 관련 종사자 60,000여 명이 참관했으며, 로봇 산업의 실질적 엔드유저인 반도체 제조업체들을 공략하기 위해 다수의 로봇 업체들이 참여해 기술 및 제품을 선보였다.
전시된 로봇의 경우, 반도체 산업의 필수 요소인 이송로봇(Transfer Robot)의 전시가 주를 이루었으며, 반도체 공정의 자동화율을 높여주는 협동로봇의 등장을 통해 4차 산업혁명에 대응하고자 하는 움직임도 엿볼 수 있었다. 이 밖에도 모션 컨트롤 시스템, 액추에이터, 케이블체인 등 로봇 산업 관련 다양한 제품 및 기술들을 확인할 수 있었다.

 

누리로봇

 

 

누리로봇은 최근 유수 대기업에 스마트액추에이터를 납품하는데 성공하며 새로운 성장 모멘텀을 마련한 모습이다. 스마트액추에이터는 모터와 감속기, 드라이버 등 모션 제어에 필요한 요소 부품들을 모듈화함으로써 손쉬운 자동화 시스템 구축의 기반을 마련한 이 회사의 신제품이다.  

 

누리로봇 관계자는 “최근 국내 대기업 L社가 인천공항에 설치한 공항안내로봇 및 공항청소로봇에 스마트액추에이터 SM109-12(24V)가 적용됐다”며 “이 밖에도 고출력 타입인 SM109-12-HV(75V) 모델이 크로스벨트(Cross-Belt), 소터(Sorter) 등 택배 자동화 장비에 납품되는 등 가시적인 성과가 나타나고 있다”고 설명했다. 

 

 

다인큐브

 

 

이번 전시회에서 다인큐브는 기존에 주력으로 하던 티칭팬던트와 더불어 최근 가시적인 성과를 나타내고 있는 모션 사업 부문 솔루션을 함께 선보였다. 특히 이 회사는 나치후지코시의 소형 수직다관절로봇 MZ07을 이용한 로봇 어플케이션으로 참관객들의 시선을 사로잡았다. 

 

다인큐브의 모션컨트롤 제품군의 특징은 티칭 팬던트와 모션 컨트롤러가 일체형으로 제작되어 있다는 점이다. 직교좌표로봇에서부터 스카라로봇, 델타로봇, 수직다관절로봇을 비롯해 취출로봇, 갠트리로봇, 웨이퍼 이송로봇까지 동일한 유저 인터페이스를 활용함으로써 C/C++ 등의 프로그램 언어에 숙련되지 않은 개발자도 간단하게 로봇 자동화를 실현할 수 있다. 더불어 EtherCAT Master의 역할이 가능하기 때문에 EtherCAT Slave가 지원되는 모터 드라이브라면 메이커에 구애받지 않고 활용이 가능하다. 
다인큐브 관계자는 “당사 모션 컨트롤 사업 부문의 경우, 현장에 적합한 전용 자동화 설비 구축이 용이하고, 시스템의 확장성이 우수하다는 강점으로 인해 단시간 내에 괄목할 만한 성장세를 이루었다”고 소개했다.

 

라온테크

 

 

라온테크는 이번 전시회를 통해 대기 환경 하에서 사용할 수 있는 트윈 웨이퍼 이송로봇(Twin Wafer Transfer Robot, 이하TWTR)과 6GH Vacuum Robot(VACTRA-6GH)을 전시했다.
반도체 제조장비는 대기환경에서 로봇으로 웨이퍼를 이송하는 EFEM과 진공환경에서 로봇으로 웨이퍼를 이송하는 백본(Backbone)이라는 진공이송 모듈을 통해 공정 챔버에 웨이퍼를 이·배송하는 구조로 구성된다. 대기 환경과 진공환경 사이에는 대기측 밸브, 웨이퍼 수납 챔버 및 진공측 밸브로 구성된 로드락(Load-Lock)이 있어 대기환경측 밸브를 열고 대기 로봇이 웨이퍼를 공급하면 밸브를 닫은 후 로드락 내부의 공기를 펌핑해 로드락을 진공으로 만든 뒤 진공 로봇이 웨이퍼를 꺼내간다. 이때 장비 전체 시스템의 생산성을 떨어뜨리는 바틀넥(Bottle-neck)이 로드락에서 발생된다.
라온테크의 TWTR은 전체 장비의 생산성 향상을 위해 로드락의 바틀넥을 개선하고자 하는 유저의 요청에 의해 개발됐다. 기존 EFEM의 로봇은 웨이퍼 한 장을 좌측 로드락에 공급 후 다른 웨이퍼 한 장을 가져와 우측 로드락에 공급하는 시퀀스로 웨이퍼를 공급했으나, 이 로봇은 두 장의 웨이퍼를 가져와 좌, 우측 로드락에 웨이퍼를 동시에 공급함으로써 전체적으로 생산성을 20~30% 향상시킨다.

 

한편 6GH Vacuum Robot(VACTRA-6GH)은 청정도가 요구되는 진공 환경에서 Glass 및 Mask Handling에 적합한 로봇으로, 진공 환경 내에 벨트나 LM 등 파티클(Particle) 발생 부품을 배제함으로써 고온 및 청정 환경에서의 작업에 탁월하다. 

 

에스비비테크

 

 

이번에 에스비비테크가 선보인 MR액추에이터는, 협동로봇의 핵심이 되는 관절모듈을 100% 국내 기술력으로 개발함으로써 누구나 쉽게 협동로봇을 제조할 수 있는 기틀을 마련했다는데 그 의의가 있다.
MR액추에이터의 가장 중요한 기구부적 특징은 감속기와 모터, 전자식 브레이크, 엔코더, 드라이버를 하나의 기구부로 통합한 일체형 모듈이라는 점이다. 이를 통해 중량을 줄이고, 한편으로는 심플한 박형 디자인을 실현했다. 또한 중공형 구조를 채택함으로써 케이블 배선을 단순화하는 한편 케이블에 가해지는 피로도도 줄여준다. 

 

토크 설정이 용이하고 구동부 제어가 쉬우며, 무엇보다도 작업 환경에 따라 단축에서 다축에 이르기까지 선택적으로 적용할 수 있다는 점이 MR액추에이터의 장점이며, EtherCAT(CoE, EoE, FoE) 통신을 채택하고 있고, 충격 감지용 가속도(x, y, z) 센서를 탑재해 안전기능을 실현한다. 
기존에 에스비비테크가 보유하고 있던 초정밀 제어감속기 시리즈에 따라 MR14/17/20/25/32시리즈로 분류되며, 감속비도 50/100/160 중 선택할 수 있다.