본 발명은 웨이퍼를 공정장치에 투입 및 회수하고 웨이퍼를 이동시키는 암 장치 특히, 암 장치의 핀셋부를 견고히 지지 및 고정하여 고속 동작 및 반복 동작 시 암 장치의 틸팅을 최소화하여 원활한 동작을 보장하도록 한 암 장치에 관한 것이다.

대표도

주요부분 부호설명**

100-데크부, 101-데크, 102-핀셋, 103-제 2모터, 104-데크 플레이트, 105-홀, 200-샤프트부, 201-샤프트, 202-샤프트 프레임, 203-제 1모터, 204-벨트풀리, 205-모터헤드, 206-벨트, 207-벨트가이드, 208-레일

 

*등록번호 : 10-0863564
*등록일자 : 2008년 10월 8일
*출원번호 : 10-2008-0027626
*출원일자 : 2008년 3월 26일
*심사청구일자 : 2008년 3월 26일
*특허권자 주식회사 : 텔론텍
*발명자 : 김영태, 박근수, 김경수
*대리인 : 조경임
*전체 청구항 수 : 총 2항

별명에 따른 암 장치를 도시한 사시도

 

 

 

 

 

 

기술분야

본 발명은 반도체 제조설비의 웨이퍼 암 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼를 공정장치에 투입 및 회수하고 웨이퍼를 이동시키는 암 장치이다.

 

특히, 암 장치의 핀셋부를 견고히 지지 및 고정하여 고속 동작 및 반복 동작 시 암 장치의 틸팅을 최소화하여 원활한 동작을 보장하도록 한 암 장치에 관한 것이다.

 

 

 

배경기술

 

반도체 디바이스 제작공정은 클린룸과 같은 청정 환경에서 이뤄지며, 조직적으로 설치된 각 장비에 웨이퍼를 이송시켜 공정을 진행하게 된다.

 

이를 위해 웨이퍼는 카세트 또는 카트리지와 같은 이송수단에 수납되어 이송되고, 각 장비로의 투입 및 방출을 위한 별도의 장비, 예를 들어 암 장치에 의해 공정 장비에 투입된다.

이러한 암 장치는 고속화, 고효율화 된 반도체 디바이스 제조장비에 웨이퍼를 안정적으로 빠르게 공급하고, 이를 회수하도록 각 장비의 특성에 맞게 고안되어 사용된다.

 

그러나 이러한 암 장치는 빠른 속도로 웨이퍼를 공정장치에 투입하고 이를 회수하기 때문에 웨이퍼에 손상을 입히는 경우가 빈번하고, 이는 바로 경제적 손실로 이어지게 된다.

암 장치는 가동 부위가 특히 많은 장치로 각 가동부위가 원활하게 동작하지 않는 경우 핀셋부의 떨림이 강하게 발생되고 이 때문에 핀셋부가 직접 웨이퍼에 손상을 발생시키거나, 핀셋부에 의해 픽업된 웨이퍼가 진동에 의해 손상되는 경우가 발생한다.

 

또한, 암 장치는 가동부위가 많고, 고속에 의해 장시간 구동되는 경우가 빈번하기 때문에 가동부위의 소모가 많고 이에 따른 불량이 종종 발생한다.

 

특히 암 장치의 경우 모터와 모터에 의해 구동되는 구성품으로의 회전력을 전달하는 장치가 마모에 의해 손상되는 경우가 빈번하다.

 

이는 암 장치의 동작을 불시에 중지시키며, 이로 인해 반도체 디바이스 제조장치 모두의 동작을 저해하는 요소로 작용한다.

 

특히, 암 장치의 경우 회전력을 전달하기 위해 벨트형태의 동력전달 장치를 사용하는 벨트의 궤도 이탈로 인한 동작중지가 큰 문제가 되고 있다.

 

데크부와 샤프트부를 연결하는 데크 플레이트를 도시한 평면도

 

 

 

 

해결 하고자하는 과제

본 발명의 목적은 웨이퍼를 공정장치에 투입 및 회수하고 웨이퍼를 이동시키는 암 장치 특히, 암 장치의 핀셋부를 견고히 지지 및 고정하여 고속 동작 및 반복 동작시 암 장치의 틸팅을 최소화하여 원활한 동작을 보장하도록 한 암 장치를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 동력 전달을 위한 모터샤프트로부터 풀리가 이탈되는 것을 방지하기 위해 동력전달 샤프트에 풀리의 폭이 1/3을 초과하도록 한 벨트 풀리를 제공하여 벨트 풀리가 모터샤프트에서 이탈함으로써 발생하는 암장치의 동작 정지를 예방하도록 한 암 장치를 제공하는 것이다.

 

 

 

과제 해결수단

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 암 장치는 웨이퍼의 이송을 위한 웨이퍼 암 장치에 있어서, 상기 웨이퍼를 픽업하고 픽업된 상기 웨이퍼를 공정장치 및 이송수단에 실장하기 위한 핀셋을 가지는 데크부; 및 상기 데크부를 회전 가능하게 고정 및 지지하는 샤프트부를 포함하여 구성되고, 상기 샤프트부는 샤프트 프레임, 상기 샤프트 프레임에 고정되는 모터, 상기 샤프트 프레임 상에 방사상으로 고정 설치되어 상기 데크부의 바닥에 결합되는 3개의 고정용 샤프트, 상기 샤프트 프레임에 회전가능하게 고정되고, 상기 모터로부터 벨트에 의해 회전력을 전달받는 동력전달 샤프트를 더 포함하여 구성된다.

상기 동력전달 샤프트의 종단은 벨트풀리가 결합되고, 상기 벨트풀리는 벨트가 걸리는 벨트레일과, 상기 벨트레일의 가장자리로부터 상기 벨트레일면보다 돌출되도록 형성되는 벨트가이드를 가지며, 상기 벨트 가이드는 상기 동력전달 샤프트 폭의 1/3 이상의 폭을 잡아주도록 형성된다.

 

 

효과

본 발명에 따른 암 장치는 웨이퍼를 공정장치에 투입 및 회수하고 웨이퍼를 이동시키는 암 장치 특히, 암 장치의 핀셋부를 견고히 지지 및 고정하여 고속 동작 및 반복 동작 시 암 장치의 틸팅을 최소화하여 원활한 동작을 보장하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 따른 암 장치는 동력 전달을 위한 벨트 풀리로부터 벨트가 이탈되는 것을 방지하기 위해 벨트 풀리 벨트 가드 폭이 적어도 벨트 폭의 1/3을 초과하도록 한 벨트풀리를 제공하여 벨트가 풀리를 이탈함으로써 발생하는 암 장치의 동작 정지를 예방하는 것이 가능해진다.