솔라셀용 웨이퍼 핸들링 공정에 적합

국내 대표 로봇기업인 다사로봇(대표이사 강석희)은 반도체 및 솔라셀용 웨이퍼 핸들링 공정에 적합한 WTR(Wafer Transfer Robot)을 개발했다.

 

이번에 개발된 제품은 Wafer 및 소형모바일 LCD, OLED 등에 Glass를 이송 및 적재하는 웨이퍼 핸들링용 로봇으로서 Dual Arm 기계구조와 고성능 로봇 컨트롤러를 채용하여 고정밀 이송작업이 가능하다. 또한, 다양한 어플리케이션 적용이 가능하여 반도체 및 솔라셀 라인 등에 적합한 구조를 가지고 있다

다사로봇 관계자는 “이번 제품 개발로 인하여 반도체 및 솔라셀용 웨이퍼 핸들링로봇의 표준제품 라인업을 통한 산업용 로봇시장에서의 선택범위 확대 및 수입대체 효과가 증대할 것으로 예상된다.”고 말했다.

 

<제품사양>

모델명	DWR-S,D
구조	Wafer Tranfer Robot	가반하중	Max 1kg
Clean Class	10	R-reach	600mm
Z-stroke	350mm	위치정밀도(R)	±0.15mm

 

이 로봇은 현재 개발중인 AGV 탑재용 로봇 샘플모델 등과 함께 1월 20일 개최된 「SEMICON Korea 2009」에 출품되었는데, 이 자리에서 다사로봇은 다양한 산업용 로봇 제품을 전시 및 홍보함으로써 로봇전문업체로서의 이미지를 한층 더 강화했다.