(주)제이이엘케이 www.jelk.co.kr

 

다관절 로봇적용 고속 모듈 마케팅 나서

 

(주)제이이엘케이는 최근 다관절 로봇을 적용한 고속 EFEM(Equipment Front End Moudle) 모듈을 새로 개발하고 본격 마케팅에 나섰다.

 

EFEM 모듈은 반도체 생산라인에서 카세트 내의 웨이퍼를 공정모듈에 공급하는 장비로 모든 공정장비에 적용되면서 장비의 청정도 유지와 설비의 생산성에 영향을 미친다.

 

이번에 개발된 EFEM 모듈은 다관절 로봇기구를 적용해 로봇이 고정된 상태에서 로봇 팔을 좌우로 이동해 카세트 내의 웨이퍼를 이송할 수 있도록 했으며, 웨이퍼 이송용 핸드는 최대 4개의 핸드를 독립적으로 구동, 동시에 여러 장의 웨이퍼를 이송할 수 있어 생산성을 획기적으로 향상시켰다. 한편 이 제품은 로봇이 이동하지 않고 고정되어 있어 저소음, 저진동으로 작업도 가능하다.