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·반도체 Wafer 이송용 Robot M123, M124 - 4월부터 출시예정
·「5 5 End Effector Robot」 - Dual Arm으로 상하에 각각 5매의 웨이퍼 전송
·다양한 OLED용 진공로봇 - OLED, LCD 및 웨이퍼의 고진공 처리공정에 사용

 

 

한국야스카와전기의 반도체로봇 사업부가 반도체 Wafer 이송용 Robot M123, M124을 출시했다. 이 로봇은 오는 4월부터 판매될 예정으로 알려져 큰 관심을 모으고 있다.

Trackless 3W, 4W 로봇은 트랙(Track)에 로봇을 안착하여 리니어 모터로 구동하여 3W, 4W로 웨이퍼를 전송하던 기존 방식에서 탈피하여 안착된 로봇이 3W, 4W에 대응하는 타입이다.

이 로봇은 X축 방향 동작범위가 기존 665mm에서 1,200mm로 웨이퍼 이송가능 거리가 넓어졌고, Z축 동작범위도 기존 380mm에서 480mm로 증가되어 장비설계 시 제한이 줄어들어 활용범위가 넓어졌다.

 

하지만 Arm이 길어짐에 따라 최소회전직경은 550mm에서 1,020mm로 증가되어 장비 폭은 근소하게 증가하게 된다. 

Trackless Robot의 가장 큰 장점으로는 기존 트랙타입(Track Type)의 단점이었던 이물발생 가능성이 줄어들어 파티클(Particle)에 대해 우려하는 장비메이커에는 희소식이 될 것이다.

 

Dual Arm Robot으로 상하에 각각 5매의 웨이퍼를 전송할 수 있는 로봇인 「5 5 End Effector Robot」의 각 End Effector는 개별적으로는 동작할 수는 없지만, 상하 각 5매의 End Effector를 한 번에 동작시킬 수 있다.

 

따라서 1~5매의 웨이퍼를 Buffer에 동시 전송할 수 있어 Thruput 상승에 일조하여 장비 효율이 증가하게 된다.

 

EFEM에서 설치되어 세정공정에 활용되고 있다.

 

마지막으로 야스카와의 OLED용 진공로봇은 다양한 종류의 제품군을 가지고 있는 것이 특징이다. SEMISTAR-V10S, SEMISTAR-V10D, SEMISTAR-V20S, SEMISTAR-V20D, SEMISTAR-V65S, SEMISTAR-V65D가 그것으로, 모델명에서 SEMISTAR는 YASKAWA의 범용 표준모델을 지칭하며, V는 Vacuum Robot, 10/20/65는 각각 대응 가능한 Payload(Kg)를 지칭하고, S,D는 Single Arm, Dual Arm을 지칭한다.

 

따라서 Payload 10/20/65의 Single Arm, Dual Arm제품을 가지고 있다.

각 모델은 고진공 환경에서 Extension, Rotation, Up/down의 3축 Motion이 가능하며, OLED, LCD 및 웨이퍼의 고진공 처리공정에 사용이 가능하다. 

 

 

 

 

 

한국야스카와전기(주)
www.yaskawa.co.kr