사진. KUKA
독일에 본사를 둔 KUKA가 반도체의 자동 전송과 처리를 위한 ‘웨이퍼 처리 시스템’을 개발했다고 밝혔다. 많은 제조업체들이 생산을 더욱 자동화할 수 있는 방법을 모색하는 한편 AG는 웨이퍼 처리를 위한 세계 최초의 솔루션을 공급하며 입지를 다져왔다.
모바일 조작 애플리케이션은 표준화된 자동 안내 차량(AGV)과 서비스에서 입증된 LBR iiwa 경량 로봇으로 구성된다. 로봇은 섬세한 웨이퍼 카세트를 진동 없이 안전하게 다룰 수 있도록 하며, 인간과의 협업이 가능하도록 한다.
또한 KUKA에서는 특허받은 맞춤형 그리퍼 시스템을 장착시켰으며, 웨이퍼 처리를 위한 클린룸 어플리케이션의 하드웨어와 소프트웨어도 함께 지원하고 있다. 관계자는 “웨이퍼 처리 소프트웨어 솔루션은 반도체 제조업체의 제조 실행 시스템(MES)과 원활하게 결합된다”고 밝혔다.
관리자는 최적의 자동화된 반도체 생산을 보장하기 위해 전송 주문을 관리하는데, 커미셔닝 시간이 매우 짧아 시장에서 가장 유연한 핸들링 시스템이 됐다.
