Q. 다이헨의 반도체 로봇사업에 대한 소개.
A. 기존에 강세를 보였던 FPD 사업과 더불어 반도체 로봇 분야에서 높은 인지도를 보유하고 있던 MECS의 기술력까지 더해져 웨이퍼 이송로봇 분야에 있어 탄탄한 경쟁력을 자랑한다.
Q. 반도체 공정에 적용되는 귀사의 로봇에는 어떤 종류가 있나.
A. 대기용 웨이퍼 이송로봇과 진공용 웨이퍼 이송로봇 모두 대응이 가능하다.
Q. 귀사 반도체 관련 로봇 중 주목할 만한 제품은 무엇인가.
A. 최근 선보인 UTW/X-RD6700, RD5700, UTM-R3700F 등이다. 특히 이 신제품들은 매니퓰레이터와 컨트롤러가 일체형으로 구성되어 있어 공간활용도가 높고, 케이블로 인한 간섭도 적어 반도체 장비 설계에 있어 큰 장점을 지닌다.
특히 UTM-R3700F는 리니어 시스템이 필요 없는 형태의 로봇으로, 수직다관절 형태의 바디와 수평다관절 형태의 핸드를 접목해 높은 자유도를 자랑한다.
Q. 컨트롤러 내장형 이송로봇에 대해 소개하자면.
A. 로봇 핸드를 경량화함으로써 모터와 앰프, 보드 등의 소형화를 실현했고, 이를 통해 컨트롤러를 내장할 수 있게 됐다. 이를 통해 세계 최고 속도를 구현한 다이헨의 웨이퍼 이송로봇이 보다 경량화되고 콤팩트해져 전기에너지 역시 50%가량 절감됐다.
더불어 앞서 언급했던 바와 같이 반도체 로봇의 수요고객이라 할 수 있는 반도체 장비업체가 장비 레이아웃을 구성하고, 설계함에 있어 상당히 간편해졌다.
뿐만 아니다. 장비의 전체적인 장점을 살리면서도 기존의 컨트롤러 외장형 로봇보다 합리적인 가격을 구현했다.
Q. 최근 반도체 분야의 트렌드는 어떠한가.
A. 엔드유저들의 경우 직접적으로 전력 소모와 이에 따른 비용을 감수해야 하기 때문에 높은 효율과 에너지 절감에 대한 관심도가 높다.
특히 원전사태 등의 재난을 겪은 일본의 경우 고효율, 에너지 절감에 대해 상당히 중요하게 생각하고 있으며, 국내 역시 산업용 전기요금 상승 등으로 인해 에너지 절감이 화두로 떠오르고 있다.
Q. 에너지 절감 외에도 고객들이 요구하는 부분이 있다면.
A. 택 타임 등 생산성 향상 부분, 가격적인 부분도 물론 중요하지만 무엇보다도 ‘납기’가 가장 중요하게 여겨지고 있다.
예를 들어, A라는 장비의 경우, 기존에는 엔드유저가 반도체 장비기업들에게 5~6개월가량의 납기를 부여했을 때 로봇기업들은 발주에서부터 조립, 납품까지 대략 3~4개월의 시간을 소요하고, 1~2달가량의 장비 테스트 시간을 가지게 된다.
하지만 최근에는 이 A라는 장비 자체의 납기에 대해 3~4개월을 요구하고 있다. 기존의 반도체 장비 전체를 납품해야 될 납기가 줄어드니, 장비업체들이 요구하는 로봇 납기 역시 줄어 이에 대한 대응이 중요해졌다.
Q. 다이헨은 이러한 요구에 어떻게 대응하고 있나.
A. 기존에는 철저한 오더메이드 기반이었다면, 최근에는 스탠다드형 등 주요 제품군에 대한 물량을 사전 예측해 Stack함으로써 보다 빠른 대응을 하고 있다.
Q. 반도체 분야와 관련된 향후 다이헨한국의 계획은.
A. 우선 반도체 전문전시회인 세미콘코리아를 통해 국내 유저들에게 꾸준히 다이헨의 반도체 로봇 기술력을 어필할 계획이다. 더불어 10~15년 전 높은 인지도를 지니고 있던 기존 MECS 유저들에게 보다 진일보된 제품을 공급함으로써 대체시장의 수요도 적극 대응할 계획이다.
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