The 14th International Semiconductor Exhibition
로봇기업들 반도체 분야 신제품 경연 “다가올 반도체 시장 호황 대비”
▲ 티이에스는 이번 전시회를 통해 듀얼 암 타입 5.5세대 이송로봇을 선보였다.
반도체 제조 공정 속 로봇을 살펴볼 수 있는 국제반도체대전이 올해, 14회의 막을 올렸다. 특히 올해에는 클린룸 인증을 획득한 로봇 관련 신제품을 비롯해 지난 해 국내 최초 8세대 이송로봇으로 본 전시회에서 호평을 이끌어냈던 티이에스가 새로운 아이템으로 등장하며 또 한 번 이목을 집중시켜 더욱 풍성한 볼거리를 선사했다. i-SEDEX 2012를 통해 반도체 시장 속 로봇 및 관련 제품들의 트렌드를 살펴보자.
취재▶▶정대상 기자(press2@engnews.co.kr)
‘제14회 국제반도체대전’ 성황리에 개최
금년 i-SEDEX에는 지난해에 이어 또 한 번 신제품을 선보인 이슈메이커 티이에스와 동부로봇 등 로봇메이커를 비롯해 씨피시스템, 에스시스템즈 등 로봇 관련 제품 기업들까지 참가해 눈길을 끌었다.
아울러 금번 행사는 ‘제43회 한국전자전’과 ‘2012 국제정보디스플레이전시회’와 함께 펼쳐짐으로써 행사장을 찾은 관람객들에게 보다 풍성한 볼거리를 제공했다.
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동부로봇은 SMIF 장비 외에도 기존 이송로봇을 함께 전시했다. |
씨피시스템의 Sabin Chain은 저분진, 저소음으로 클린룸에 적합하다. |
반도체 시장 타깃으로 한 로봇기업들의 신제품 경연
지난해 국내 최초로 8세대 이송로봇을 개발해 화제가 됐던 티이에스는 이번 전시회를 통해 Clean Class1의 듀얼 암 타입 5.5세대 이송로봇을 선보였다. 이미 기존 5.5세대 이송로봇 시장을 확보하고 있던 동사는 듀얼 암 타입 5.5세대 이송로봇을 통해 신규 고객사 확보 및 대체 시장 등 다방면으로의 활용성이 기대되고 있다.
한편 동부로봇은 ‘반도체장비재료성능평가사업단’이 구성한 성능평가 홍보관을 통해 반도체 분야와 관련된 기존 및 신제품들을 선보였다.
특히 동부로봇은 그간 제작하지 않았던 SMIF(반도체 제조 공정 중 국부적인 청정상태를 유지해주는 장치)를 자사의 로봇기술력을 바탕으로 개발해 선보였다. 장치 속 로봇은 카세트에 탑재된 웨이퍼의 수량에서부터 이탈 유무 확인까지 수행하는 장비로, 동부로봇의 관계자는 “SMIF 시스템은 기존에 제작하지 않았던 제품으로, 이번 전시회를 통해 처음 선보였다”고 밝혔다.
이 밖에도 케이블 보호 기구를 제작하는 씨피시스템 역시 얼마 전 개발한 클린룸 타입 케이블 보호 기구 신제품인 Sabin Chain을 선보이며 반도체 시장 공략에 나섰다. 동사는 독창적인 홀딩핀 결합구조와 효과적인 디바이더, 5㎜ 간격으로 케이블의 유동을 방지해주는 프레임 돌기 등 씨피시스템 고유의 제품 특장점을 살리면서도 클린 룸에 적용 가능한 타입의 제품을 공개했다.
한편 이번 전시회에서는 씨티엑스 코리아, 에스시스템즈, 하이윈 등 반도체 설비 업체를 겨냥한 액추에이터 기업들의 모습도 살펴볼 수 있었다.
에스시스템즈는 자사의 서보시스템을 활용한 3축 직교좌표로봇을 구성해 참관객들에게 제품을 홍보했고, 씨티엑스는 보쉬렉스로스의 라이선스를 보유하고 있는 중국 PRP의 액추에이터 및 공간활용도를 극대화한 가이드 일체형 액추에이터 GSX 시리즈를 선보였다.
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하이윈(左)과 에스시스템즈(右)는 자사의 엑츄에이터를 활용한 모듈로 참관객들의 눈길을 사로잡았다.
웨이퍼 시장 확장 기조… ‘로봇기업들 준비태세’
금번 i-SEDEX에서는 이러한 반도체 업계의 잠재력을 어느 정도 확인할 수 있는 자리가 됐다. 아울러 일본 로봇기업의 강세가 여전히 두드러지는 가운데 국내 반도체 이송 로봇기업의 약진이 돋보이는 자리이기도 했다.
티이에스의 웨이퍼 이송로봇
