[세미콘코리아 2023] 더셀, 진공 환경용 웨이퍼 고속 반송 로봇 소개

김양식 기자

사진. 여기에

 

국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주관하고 450개 기업이 참여하는 대형 박람회 세미콘 코리아 2023이 1일 서울 코엑스에서 개막했다. 

 

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이번 세미콘코리아 2023에 참가한 더셀은 진공 환경용 웨이퍼 고속 반송 로봇 UT-VDW3000 시리즈를 소개했다. 이 제품은 진공환경내에서 고속 저진동으로 반송을 실현한 반도체 웨이퍼 반송 로봇이다.

 

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또한 반도체 제조공정을 6개 분과로 나눠 최신 공정기술을 공유하는 SEM기술심포지엄(STS)을 포함, ▲계측·검사(MI) ▲스마트 제조 ▲테스트 ▲지속가능성 ▲시장 전망 등 인사이트를 공유한다. 해당 전시회는 3일(금)까지 진행된다

 

김양식 기자 <월간로봇기술, 저작권자 @ (주)한국종합기술. 무단전재 - 재배포금지>
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