(주)라온테크 김원경 대표이사
Q. SEMICON KOREA 2017에 공개된 로봇들에 대한 소개.
A. 반도체 업계의 유저들에게 호평을 받고 있는 ‘쿼드백트라(QUAD VACTRA)’와 더불어 최근 개발된 신제품도 함께 전시했다. 대기 환경 하에서 사용할 수 있는 트윈 웨이퍼 이송로봇(Twin Wafer Transfer Robot, 이하TWTR)이다.
Q. 신제품은 어떠한 로봇인가.
A. 반도체 제조장비는 대기환경에서 로봇으로 웨이퍼를 이송하는 EFEM과 진공환경에서 로봇으로 웨이퍼를 이송하는 백본(Backbone)이라는 진공이송 모듈을 통해 공정 챔버에 웨이퍼를 이·배송하는 구조로 구성된다. 대기 환경과 진공환경 사이에는 대기측 밸브, 웨이퍼 수납 챔버 및 진공측 밸브로 구성된 로드락(Load-Lock)이 있어 대기환경측 밸브를 열고 대기 로봇이 웨이퍼를 공급하면 밸브를 닫은 후 로드락 내부의 공기를 펌핑해 로드락을 진공으로 만든 뒤 진공 로봇이 웨이퍼를 꺼내간다. 이때 장비 전체 시스템의 생산성을 떨어뜨리는 바틀넥(Bottle-neck)이 로드락에서 발생된다.
이번에 개발된 TWTR은 전체 장비의 생산성 향상을 위해 로드락의 바틀넥을 개선하고자 하는 유저의 요청에 의해 개발됐다. 기존 EFEM의 로봇은 웨이퍼 한 장을 좌측 로드락에 공급 후 다른 웨이퍼 한 장을 가져와 우측 로드락에 공급하는 시퀀스로 웨이퍼를 공급했으나, 이번에 개발된 로봇은 두 장의 웨이퍼를 가져와 좌, 우측 로드락에 웨이퍼를 동시에 공급함으로써 전체적으로 생산성이 20~30% 향상된다.
앞서 해외 장비업체의 경우 로봇 두 대를 운용함으로써 생산성을 개선한 사례가 있었으나, 우리는 한 대의 로봇으로 이와 같은 효과를 낼 수 있어 시스템이 간소하고 효율적이다.
(주)라온테크의 신제품 트윈 웨이퍼 이송로봇
Q. 기존의 쿼드백트라도 고객들에게 호평을 받았는데.
A. 예전의 시스템은 웨이퍼를 한 장씩 가져다 놓고, 꺼내오는 방식이었는데 ‘너무 느리다’는 유저들의 요구가 있었다. 그래도 두 장을 동시에 핸들링하는 방식이 개발됐는데, 툴을 체인지 하는 과정에서 카세트에 웨이퍼를 정확하게 수납하기가 어려웠다. 또한 진공상태에서는 대기환경과 다르게 웨이퍼가 미끄러지는 현상이 발생되기도 한다. 그래서 이를 센싱해 보정하는 작업이 필요한데, 핸들링할 때마다 보정을 반복하다 보니 속도가 굉장히 느렸다.
쿼드백트라는 두 장의 웨이퍼를 동시에 가져다 놓는 작업을 수행하면서도 개별적으로 제어가 가능하다. 또한 웨이퍼 센터링 기술을 통해 웨이퍼의 위치가 틀어져도 정확하게 센터링을 할 수 있다. 특히 미국, 일본의 시스템보다 사이즈도 작고, 기능이 더 우수해 시장에서 호평을 받고 있다.
Q. 앞으로의 목표는.
A. 반도체 로봇 메이커는 장비 메이커에게 ‘어떠한 가치를 제공할 수 있는가’를 평가받는다.
장비 메이커는 자신의 장비와 조합했을 때 시너지를 낼 수 있는 로봇을 요구하기 때문에 단순히 선진국 제품을 카피하는 수준으로는 만족을 줄 수 없다.
그래서 시장의 요구사항이나 트렌드에 맞춰 새로운 콘셉트, 더 발전된 가치를 제공해야만 한다.
아울러 더욱 글로벌한 시장에 우리의 로봇을 공급하기 위한 노력도 지속할 계획이다.
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