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[Monthly Focus] 2018 세미콘코리아에서 찾은 로봇 혁신 기술들 SEMICON KOREA 2018 REVIEW 정대상 기자입력 2018-02-03 14:22:39

반도체 산업은 로봇 기업들에게 있어 빅마켓 중 하나이다. 유수 반도체 전문 전시회에 여러 로봇 및 관련 기업들이 참여하는 이유도 여기에 있다. 이번 2018 세미콘코리아 역시 반도체 장비업체 및 엔드유저들에게 혁신 기술을 알리고자 많은 로봇기업들이 참여했다. 이에 본지에서는 2018 세미콘코리아 속 로봇 기업들을 취재하고, 주요 기업들을 인터뷰했다.

 

보쉬렉스로스코리아의 XDK와 한화테크윈의 협동로봇 HCR-5


난 1월 31일(수)부터 2월 2일(금)까지 서울 삼성동 코엑스(COEX)에서 국내 최대의 반도체 전문 전시회 ‘2018 세미콘코리아(SEMICON KOREA 2018)’가 성황리에 폐막했다. 
반도체 시장은 자동차 산업과 더불어 로봇 기업들이 집중하는 최대 규모의 시장 중 하나이다. 이에 따라 매년 세미콘코리아에는 반도체 장비업체와 더불어, 다수의 로봇 및 로봇 관련 전문 기업들이 출품하고 있다. 


올해 또한 로봇 부품 및 액추에이터, 이송로봇을 비롯해 수직다관절로봇까지, 다양한 로봇 관련 제품들이 전시회를 더욱 풍성하게 만들었다.

 

반도체 시장을 겨냥한 글로벌 로봇 메이커들
올해 역시 일본계 로봇 기업들의 약진이 두드러졌다. 한국가와사키로보틱스, 한국야스카와전기, 다이헨한국 등 유수 일본계 로봇 기업들이 반도체 시장을 타깃으로 한 로봇 관련 제품들을 전시해 참관객들의 발길을 붙들었다.


지난해 양팔 스카라 로봇 듀아로와 웨이퍼 이송로봇을 함께 선보였던 한국가와사키로보틱스는 올해 웨이퍼 이송로봇을 더욱 부각시켰다. 이날 동사가 선보인 TT시리즈는 최대 4개의 FOUP에 엑세스할 수 있는 기존 NT시리즈의 강점을 유지하면서도 Z축이 더욱 높아진 것이 특징으로, 최근 2단 챔버의 사용 빈도가 높아진 반도체 전공정 트렌드를 겨냥했다. TT시리즈의 Z축 스트로크는 740㎜로, 기존 모델인 NT420과 NT520의 Z축이 각각 400, 470㎜인 것과 비교해보면 그 차이를 확연히 느낄 수 있다. 

 

한국가와사키로보틱스가 전시한 TT시리즈


회사 관계자는 “이 밖에도 가와사키로보틱스 고유의 고강성 텔레스코픽 메커니즘이 적용되어 고저 위치에서 고속 핸들링이 가능하며, SEMI-F47 표준을 준수하고, 전압 저하 등의 문제 발생 시 즉각적인 대응 및 전압 복구를 통해 자동으로 작업을 재개한다. 또한 SEMI-S2 표준을 충족시킴으로써 환경과 개인 안전에 대해서도 충분히 고려했으며, 충돌로 인한 손상을 줄이기 위해 충돌 감지 기능도 구비하고 있다.”라고 설명했다. 


이어 다이헨한국은 이번 전시회를 통해 3가지 혁신 모델을 중점적으로 홍보했다. 
우선 신제품인 대기용 웨이퍼 이송로봇 UT-AFX/W3000NM은 ‘고속전력선통신기술’이 적용된 배선 설계로 기존 이송로봇 대비 로봇 본체 내·외부 케이블을 대폭 감소시켰다는 것이 가장 큰 특징이다. 회사 관계자는 “먼지가 많이 쌓이거나, 단선의 위험이 적어 신뢰성이 높다. 또한 기존 이송로봇의 경우 옵션 사항이 추가될 때마다 별도의 배선이 필요했는데, 이 모델은 배선을 공통화해 옵션 추가 시에도 배선의 증가가 없다.”라며 “아울러 속도가 20% 이상 높아졌고, 각 사용자의 다양한 환경에 대응이 가능하다”라고 전했다.

 

다이헨한국이 전시한 UT-AFX/W3000NM

 
두 번째 신제품은 웨이퍼 얼라이너 AIGIS2 OFH-4100i2로서, 웨이퍼 결함 검출 기능이 탑재된 것이 가장 중요한 특징이다. 다이헨한국은 육안으로 보이지 않는 웨이퍼의 미세한 크랙 또는 버를 별도의 추가 장비 없이 자체적으로 검출할 수 있는 이 시스템을 이용해 우량품과 불량품을 별도로 이송하는 모습을 시연했다. 특히 이 시스템은 웨이퍼 센터링, 위치 정렬, 결함 검출의 3가지 작업을 6초 만에 처리하는 등 우수한 생산성을 자랑한다.

 

다이헨한국이 전시한 AIGIS2 OFH-4100i2


다이헨한국은 이송로봇과 더불어 6축 수직다관절로봇 신제품 FDCL-V4MN도 선보였다. 가장 주목할 만한 특징은 오염 환경 하에서 작업장 환경 및 로봇 세척을 스스로 진행할 수 있다는 점이다. 로봇 자체에 특수 코팅이 입혀져 있어 약품에 대한 내성이 강화되어 있으며, 로봇 모션 시 발생되는 발진도 자체적으로 방지한다. IP65 등급 실현, 과산화수소 미스트에 대한 내성, 액체 반송시 진동 억제, ISO Class5 클린도 등의 특징으로 의료·약품 제조 현장 자동화에 최적화되어 있으며, 반복정밀도는 ±0.05㎜, 가반하중은 4㎏이다.

 

다이헨한국이 전시한 FDCL-V4MN


한편 매년 서보모터, 드라이브에서부터 완제품 로봇까지 다양한 솔루션들을 소개했던 한국야스카와전기는 올해 전시회 역시 풍부한 제품 라인업을 자랑했다. 특히 중공서보모터 ∑-7T를 이용한 스카라 로봇 데모는 기존 스카라 로봇과 달리 상부에 모터를 달지 않고, 하단부에 두 개의 모터를 연결해 사용할 수 있음을 보여줬다. 회사 관계자는 “중공서보모터를 이용해 케이블로 인한 회전 범위의 한계를 극복, 무한 회전이 가능하고, 아울러 장비의 높이가 높아지는 단점도 극복했다”고 전했다.

 

일반 스카라 로봇과 야스카와전기의 중공서보모터 ∑-7T를 적용한 스카라 로봇 비교


로봇 핵심 부품업체들의 기술 혁신
직교좌표로봇은 반도체 및 OLED 호조에 의해 큰 수혜를 입었던 로봇 아이템 중 하나로, 이에 따라 직교좌표로봇에 적용되는 LM가이드 등 관련 로봇 부품 기업들 또한 최근 호황을 이어가고 있다.


LM가이드 시장을 선도하고 있는 삼익THK는 한국에서 자체적으로 생산하는 4방향 등하중형 세계 표준 LM가이드 HSR형을 비롯해 직선과 곡선 가이드가 가능한 HMG형 LM가이드, 미니어처 볼나사 등 리니어 액추에이터의 핵심 부품들을 전시했다. 

 

삼익THK의 다양한 LM가이드 제품들


특히 동사는 저소음 볼나사 신제품 BNK_K 모델과 LM가이드 신제품 SPS/SPR 모델의 진동 테스트를 전시회 현장에서 실시해 LM가이드 및 볼나사 선두기업의 위상을 다시 한 번 확인시켰다. 


한편 국산 LM가이드 제조 전문 기업 에스비씨리니어도 길보(吉報)를 전했다. 최근 동사는 LM가이드 품질 경쟁력의 강화로 수주가 증가하고 있음을 밝혔다. 회사 관계자는 “국산 제품의 주요 경쟁력인 가격과 납기에 더해, 최근 품질 경쟁력 또한 시장 선도업체를 따라가고 있는 상황”이라며 “올해 6월쯤에는 자사 LM가이드가 접목된 리니어 액추에이터를 출시할 계획으로, 현재 프로토타입을 개발해 전시회에 소개했다. 현재 프로파일까지 자체적으로 가공하기 위해 장비 도입을 추진 중이며, 향후에는 리니어모터까지 런칭할 계획”이라고 귀띔했다. 

 

올해 중순 출시를 앞둔 에스비씨리니어의 리니어 액추에이터


아울러 동사는 니덱심포의 로봇용 고정밀 감속기 플렉스웨이브를 공급함으로써, 로봇 구동 관련 제품 라인업을 더욱 확장했다.

 

산업용 사물인터넷(IIoT)에 주목
로봇 관련 솔루션들 역시 로봇 기업들의 눈을 즐겁게 했다. 
보쉬렉스로스코리아는 한화테크윈의 협동로봇 HCR-5를 이용해 하나의 센서로 8가지의 기능을 수행할 수 있는 올인원 센서키트 XDK를 소개했다. 


최근 공정 간 데이터 공유 및 통합의 요구가 증가하며 IIoT 기술이 괄목할 만한 혁신을 이루고 있다. XDK 또한 이와 같은 제조 업계의 요구를 반영한 제품으로서, 회사 관계자는 “고객사의 Poc 및 프로토타입 구축에 필요한 시간을 대폭 절약시켜주는 올인원 센서 키트”라고 설명했다. 


XDK는 가속도계, 자력계, 음향방출센서, 디지털라이트센서, 자이로스코프, 온도센서, 습도센서, 근접센서의 8개 기능을 지원하는 와이어리스 센서 키트로서, 내장 충전식 리튬 이온 배터리가 탑재되어 있고, 확장 보드를 통해 기능을 확장시킬 수 있으며, 샘플 코드는 오픈소스 라이센스를 기반으로 하고 있다. 


에스엠씨 또한 IIoT와 관련된 혁신 솔루션을 제안했다. ‘센서·액추에이터의 IoT’라는 헤드카피 아래 센서 정보와 디지털 통신을 활용해 공정 내 IoT를 실현하는 제품군을 선보였다.

 

에스엠씨의 무선시스템 EX600-W


또한 전시회에서 데모 시연을 통해 소개한 무선시스템 EX600-W는 노이즈가 많은 환경에서도 안정적으로 작동하는 무결성 무선 통신 시스템 구축을 추구하는 제품으로서, 소재 핸들링 로봇 자동화 또는 스폿 용접 로봇 자동화 등 다방면에서 활용성을 보여준다.


자동화 센서 전문기업 씨크코리아는 덴소로보틱스의 로봇과 자사 3D스캐너의 조합을 통해 3D 스캔 자동화를 시연했다. 이 3D비전은 종래 제품 대비 인식 속도가 대폭 향상된 것이 특징으로, 씨크코리아 관계자는 올해 2/4분기 중 출시될 것이라고 예고했다. 

 

덴소 로봇과 시크 3D스캐너의 콜라보


이 밖에도 로봇 케이블 및 드레스팩 제조로 유명한 레오니도 이번 전시회에 참가했다. 이날 전시회에서 레오니코리아는 로봇 툴을 검·교정해 로봇의 툴 센터 포인트 이탈을 방지하는 LEONI TCP 캘리브레이션 시스템을 화낙의 로봇으로 시연했고, 더불어 반도체 클린룸에 적합한 밀폐형 케이블을 함께 소개했다. 밀폐형 케이블과 관련해 레오니코리아 관계자는 “플렉시블한 케이블 보호기구로 케이블을 감싼 이 제품은 국산 케이블 대비 데이터 전송 용량이 높고, 신뢰성 또한 우수하다”라고 강점을 설명했다.

 

LEONI TCP 캘리브레이션 시스템

정대상 기자
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